基于MEMS柔性测斜仪研制与性能试验研究

郑天翱蔡德所陈声震林成锋李书恒杨佳星

Research on Performance Based on MEMS Flexible Inclinometer

ZHENG Tian-ao ，CAI De-suo ，CHEN Sheng-zhen，LIN Cheng-feng ，LI Shu-heng ，YANG Jia-xing

中国农村水利水电 . 2020, (7): 190 -195 .